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    當前位置:首頁產品中心材料樣品處理等離子清洗機KT-Z5KQX2路質量流量計500w等離子清洗機

    2路質量流量計500w等離子清洗機

    產品簡介

    2路質量流量計500w等離子清洗機,在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產品表面.以達到清洗目的

    產品型號:KT-Z5KQX
    更新時間:2024-03-29
    廠商性質:生產廠家
    訪問量:969
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    品牌鄭科探產地類別國產
    應用領域綜合

    2路質量流量計500w等離子清洗機

    等離子體是物質的一種存在狀態(tài),通常物質以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣電離層中的物質。等離子體狀態(tài)中存在下列物質:處于高速運動狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;未反應的分子、原子等,但物質在總體上仍保持電中性狀態(tài)。等離子清洗/刻蝕機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵,在任何暴露的表面引起化學反應,不同氣體的等離子體具有不同的化學性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性

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    2路質量流量計500w等離子清洗機KT-Z5KQX


    供電電源

    AC220V(AC110V可選)

    工作電流

    整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

    射頻電源功率

    500W可調

    射頻頻率

    40kHz

    耦合方式

    電容耦合

    真空度

    ≤30Pa

    腔體容積

    5L(內徑 152mmX 深度 280mm)

    載物規(guī)格

    125mmX260mm

    氣體流量

    0—50ml/min(其他量程可選)

    氣體路數(shù)

    2 路質量流量計+精密流量控制閥

    過程控制

    自動控制

    清洗時間

    手動開關

    開蓋方式

    鉸鏈側開式法蘭

    真空室溫度

    小于65°C

    外形尺寸

    450x450x250mm

    冷卻方式

    強制風冷

    標配

    KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網匣1個,電源線一根,說明書一本,機械泵一臺

















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